一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构
摘要:
一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构,属于辐射加工技术领域。它包括加速管、漂移管、扫描电磁铁及带离子泵的扫描盒,扫描盒的顶部放置扫描电磁铁并与漂移管通过法兰盘二连接,漂移管的上端通过法兰盘一与加速管连接。其结构特点是,加速管和扫描盒由支架定位与固定,法兰盘二、法兰盘一均采用薄边法兰以焊接方式连接,加速管采用带排气口的驻波加速结构。本发明同现有技术相比,提高了加速器运行的稳定性和密封性,使整体体积变小,并可直接在高温排气炉内整体排气,省去漫长的加速管真空排气老练过程。更具备工程实用性。
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