发明授权
CN1952315B 洁净室及其方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 洁净室及其方法
- 专利标题(英): Clean room and method
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申请号: CN200610077806.6申请日: 2000-08-07
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公开(公告)号: CN1952315B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: J·拉皮萨达 , T·科利
- 申请人: 斯皮德法姆-艾佩克公司
- 申请人地址: 美国亚利桑那州
- 专利权人: 斯皮德法姆-艾佩克公司
- 当前专利权人: 斯皮德法姆-艾佩克公司
- 当前专利权人地址: 美国亚利桑那州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 谭祐祥
- 优先权: 09/391113 1999.09.07 US
- 分案原申请号: 008125732 2000.08.07
- 主分类号: E04B5/43
- IPC分类号: E04B5/43 ; E04B5/48 ; E04B9/02 ; E04F15/024
摘要:
一种避免在现有技术洁净室的高架地板中发现的问题的洁净室,其使用了设备可在其上直接放置的打孔地板。该打孔地板包括一规则阵列的开口,空气可从该开口穿过进入下面的装置室。该开口由空气可从其穿过的格栅覆盖。打孔地板和格栅结合地能够支撑其上任何位置的设备。
公开/授权文献
- CN1952315A 洁净室及其方法 公开/授权日:2007-04-25