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洁净室及其方法
摘要:
一种避免在现有技术洁净室的高架地板中发现的问题的洁净室,其使用了设备可在其上直接放置的打孔地板。该打孔地板包括一规则阵列的开口,空气可从该开口穿过进入下面的装置室。该开口由空气可从其穿过的格栅覆盖。打孔地板和格栅结合地能够支撑其上任何位置的设备。
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