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薄膜电容器的制造方法
摘要:
一种薄膜电容器的制造方法,包括以下步骤:对金属箔执行再结晶热处理;在再结晶的金属箔的顶面上形成介电层;对金属箔和介电层执行热处理;以及在热处理过的介电层的顶面上形成上电极。再结晶热处理防止金属箔氧化,这样,可以以高温对介电层执行热处理,从而改善薄膜电容器的电特性和产品的可靠性。
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