发明公开
CN1924560A 光或辐射检测单元制造方法及通过该方法制造的检测单元
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光或辐射检测单元制造方法及通过该方法制造的检测单元
- 专利标题(英): Light or radiation detecting unit manufacturing method, and a light or radiation detecting unit manufactured by this method
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申请号: CN200610126157.4申请日: 2006-08-28
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公开(公告)号: CN1924560A公开(公告)日: 2007-03-07
- 发明人: 足立晋
- 申请人: 株式会社岛津制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 宋焰琴
- 优先权: 2005-250896 2005.08.31 JP
- 主分类号: G01N21/84
- IPC分类号: G01N21/84 ; G01N23/04 ; A61B6/00
摘要:
通过气相沉积或印刷来形成包括载流子收集电极、电容器、薄膜晶体管、数据线和栅极线的读出图样的至少一部分。与半导体厚膜相分离地形成读出图样。半导体厚膜和读出图样构成平板X射线检测器(FPD),被安装在盒中以形成一个单元。通过使用半导体厚膜代替传统的玻璃衬底,实现了重量减轻。按照这种方式制造的FPD在运输和使用期间不受较大的限制。
公开/授权文献
- CN1924560B 光或辐射检测单元制造方法及通过该方法制造的检测单元 公开/授权日:2010-07-07