发明授权
CN1865097B 基板搬送装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 基板搬送装置
- 专利标题（英）： Substrate conveying device
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申请号： CN200610079865.7申请日： 2006-05-15
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公开(公告)号： CN1865097B公开(公告)日： 2010-05-12
- 发明人: 松本隆雄 , 山本悟史
- 申请人： 大日本网目版制造株式会社
- 申请人地址： 日本京都府
- 专利权人： 大日本网目版制造株式会社
- 当前专利权人： 大日本网目版制造株式会社
- 当前专利权人地址： 日本京都府
- 代理机构： 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 徐恕
- 优先权： 2005-147388 2005.05.19 JP
- 主分类号： B65G13/00
- IPC分类号： B65G13/00 ; B65G13/11 ; B65G47/22 ; B65G47/52
摘要：
本发明提供一种基板搬送装置，其能够不减低基板处理的生产量，在基板搬送路径上笔直的搬送基板的同时，将基板变更为倾斜姿势。辊支承机构(22)对搬送辊(21)在围绕向着与其旋转轴(211)的纵向方向中央部垂直的方向延伸的驱动轴(23)旋转而倾斜的状态下来进行支承，从而赋予为了变更基板的倾斜姿势而各搬送辊(21)必须具有的倾斜。由多个搬送辊(21)构成的基板搬送路径并不上下动作，通过各辊支承机构(22)对各搬送辊(21)赋予的倾斜，从而能够改变搬送中的基板的倾斜姿势。
公开/授权文献
- CN1865097A 基板搬送装置 公开/授权日：2006-11-22
IPC分类:
