发明授权
CN1855516B 利用有机涂层制造半导体图象传感器的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 利用有机涂层制造半导体图象传感器的方法
- 专利标题(英): Method for producing semiconductor imaging sensor by organic coating
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申请号: CN200510025215.X申请日: 2005-04-20
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公开(公告)号: CN1855516B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 朱骏
- 申请人: 上海集成电路研发中心有限公司 , 上海华虹(集团)有限公司
- 申请人地址: 上海市张江高科技园区春晓路149号主楼1楼
- 专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司,上海华虹(集团)有限公司
- 当前专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司,上海华虹(集团)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江高科技园区春晓路149号主楼1楼
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 王洁
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本发明为一种利用有机涂层制造半导体图象传感器的优化工艺。本发明中利用顶部和底部有机涂层的抗反射特性,降低基底的反射光强度,减少由于杂光而导致含有滤光材料的负性光敏光刻胶交联产生的基底底膜残留问题;同时依靠顶部有机涂层所包含的表面显影活性剂,优化显影工艺,降低由于显影不良而产生的顶部薄膜残留问题,恰当的使用顶部和底部有机涂层,有效的改善和优化半导体图象传感器的滤光层的制造工艺,大大提高器件性能。
公开/授权文献
- CN1855516A 利用有机涂层制造半导体图象传感器的方法 公开/授权日:2006-11-01
IPC分类: