利用有机涂层制造半导体图象传感器的方法
摘要:
本发明为一种利用有机涂层制造半导体图象传感器的优化工艺。本发明中利用顶部和底部有机涂层的抗反射特性,降低基底的反射光强度,减少由于杂光而导致含有滤光材料的负性光敏光刻胶交联产生的基底底膜残留问题;同时依靠顶部有机涂层所包含的表面显影活性剂,优化显影工艺,降低由于显影不良而产生的顶部薄膜残留问题,恰当的使用顶部和底部有机涂层,有效的改善和优化半导体图象传感器的滤光层的制造工艺,大大提高器件性能。
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