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固体电容式结构微型传声器
摘要:
固体电容式结构微型传声器是一种用于传递声音信号的器件,该传声器由衬底(2)、上电容极板(21)、下电容极板(22)、电容介质膜(23)及其引线(221)组成,在衬底(2)上设有下电容极板(22),在衬底(2)中间和下电容极板(22)的下方设有空腔(1),上电容极板(21)和下电容极板(22)为电极膜,在电极膜之间由电容介质膜(23)填充,形成固体电容形式即:导体-介质-导体的结构,在介质膜(23)中设有一导电体(24),引线(221)覆盖在空槽(24)上。该传声器可与标准集成电路工艺兼容的固体电容式结构微型传声器,具有加工简单和灵敏度高的优点。
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