发明授权
CN1715358B 研磨液组合物 失效 - 权利终止

研磨液组合物
摘要:
本发明提供一种研磨液组合物,其含有采用硅酸盐制造的胶体氧化硅和水,所述胶体氧化硅的一次粒子的平均粒径不小于1nm且不足40nm,其中所述胶体氧化硅表面的硅烷醇基密度相对于每1g胶体氧化硅为0.06~0.3mmol;提供一种所述研磨液组合物的制造方法;提供一种基板的纳米划痕的减少方法以及基板的制造方法,其具有研磨工序,在该研磨工序中,使用含有采用硅酸盐制造的、一次粒子的平均粒径不小于1nm且不足40nm的胶体氧化硅和水的研磨液组合物研磨被研磨基板,其中所述胶体氧化硅表面的硅烷醇基密度被调整成相对于每1g胶体氧化硅为0.06~0.3mmol。本发明的研磨液组合物适用于存储硬盘基板等的磁盘、光盘、磁光盘等记录介质的基板、光掩模基板、光学透镜、光学反射镜、光学棱镜、半导体基板等精密部件基板的研磨。
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