发明公开
CN1674721A 加热平台
无效 - 撤回
- 专利标题： 加热平台
- 专利标题（英）： Heating stage
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申请号： CN200510003687.5申请日： 2005-01-10
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公开(公告)号： CN1674721A公开(公告)日： 2005-09-28
- 发明人: 小田垣徹 , 水川洋一
- 申请人： 优志旺电机株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 优志旺电机株式会社
- 当前专利权人： 优志旺电机株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 钟强; 关兆辉
- 优先权： 2004－092303 2004.03.26 JP; 2004－168681 2004.06.07 JP
- 主分类号： H05B3/84
- IPC分类号： H05B3/84 ; H05B3/32 ; H05B1/00 ; H05K7/20
摘要：
提供一种可以高温加热晶片等被加热物，并且可防止在加热中因产生不纯物而导致的被加热物污染的加热平台。具备：载置被加热物的平坦的平台部，具有与该平台部连续、在其内部收纳有作为加热装置的多个灯泡的圆筒部的玻璃制部件；以及具有圆筒部及底面部，与玻璃制部件一体化而形成减压状态或是充填有惰性气体的内部空间的金属制部件。
