提供一种能够高速地进行数据读取处理的位移传感器装置。位移传感器装置包括：用于按规定角度对测量对象物照射光的发光元件；用于对被照射光的测量对象物从不同角度进行摄像的摄像元件；可在摄像元件的视野内设定通常测量区域的通常测量区域设定部件；通过对设定的通常测量区域进行扫描，检测摄像元件的视野内的照射光像的位置的照射光像位置检测部件；对包含被检测出的照射光像的位置并比通常测量区域窄的至少一个跟踪型测量区域进行设定的跟踪型测量区域设定部件；通过对跟踪型测量区域进行测量而测量作为目标的位移的位移测量部件；以及输出由位移测量部件测量出的位移的输出部件。