发明公开
CN1497359A 烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光致抗蚀显影剂中的应用
失效 - 权利终止
- 专利标题： 烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光致抗蚀显影剂中的应用
- 专利标题（英）： Alkyl aminoalkyl piperazine surfactant and its application in photoresist developer
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申请号： CN00134217.7申请日： 2000-10-11
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公开(公告)号： CN1497359A公开(公告)日： 2004-05-19
- 发明人: K·R·拉斯拉 , R·V·C·卡尔 , K·E·明尼奇
- 申请人： 气体产品与化学公司
- 申请人地址： 美国宾夕法尼亚州
- 专利权人： 气体产品与化学公司
- 当前专利权人： 气体产品与化学公司
- 当前专利权人地址： 美国宾夕法尼亚州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 王其灏
- 优先权： 09/416429 1999.10.12 US; 09/484001 2000.01.18 US
- 主分类号： G03F7/32
- IPC分类号： G03F7/32 ; C11D1/58
摘要：
本发明提供了水基组合物，具体的说是涂料、油墨、湿润液、胶粘剂、农业的和光致抗蚀显影剂/电子清洗剂组合物，通过加入表面张力降低量的某些有下式结构的烷基化氨基烷基哌嗪化合物可降低其平衡和动态表面张力：其中R1和R2的其中之一是C5－C14的烷基或环烷基，而另一个是H，或者R1和R2都是C5－C8的烷基，n是2或3。
公开/授权文献
- CN1248055C 烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光致抗蚀显影剂中的应用 公开/授权日：2006-03-29
IPC分类:
