发明公开
- 专利标题： 热化学汽相沉积设备和使用该设备合成碳纳米管的方法
- 专利标题（英）： Equipment for thermochemical vapour deposition and method for making carbon nm tube with this equipment
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申请号： CN01102312.0申请日： 2001-01-31
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公开(公告)号： CN1315588A公开(公告)日： 2001-10-03
- 发明人: 李铁真 , 柳在银
- 申请人： 李铁真 , 株式会社日进纳米技术
- 申请人地址： 韩国全罗北道
- 专利权人： 李铁真,株式会社日进纳米技术
- 当前专利权人： 李铁真,株式会社日进纳米技术
- 当前专利权人地址： 韩国全罗北道
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 刘兴鹏
- 优先权： 3613/2000 2000.01.26 KR; 14247/2000 2000.03.21 KR
- 主分类号： C23C16/54
- IPC分类号： C23C16/54 ; C23C16/26 ; C01B31/02
摘要：
本发明提供了热化学汽相沉积设备和使用该设备合成碳纳米管的方法。所述设备包括顺序接收和传送多个基片的传送带,用于驱动传送带的旋转装置,用于顺序将基片装载到上述传送带上的装载装置,用于将传送带传送的基片卸载的卸载装置,该卸载装置与上述装载装置相对,用于供应反应气体的反应气体供应装置,该反应气体用于在被传送的基片上合成碳纳米管,用于加热装载基片的加热装置,以及用于排出反应产物气体的排气装置。
IPC分类:
