本发明公开了一种低介电常数纳米微波介质陶瓷粉体的制备方法，包括：(1)将镁的无机盐水溶解形成镁的无机盐水溶液；再按硅与镁为1∶1的摩尔比加入硅溶胶，搅拌；(2)将一定量的柠檬酸加入乙二醇中，加热溶解；(3)以一定的摩尔比混合上述两溶液，加热蒸发水份；升温到125℃～135℃保温2～4小时，继续升温到180℃～220℃保温2～4小时，得到的黑色物质进行研磨后在800℃～1000℃煅烧，可得到粒径在80～100nm且分散良好的MgSiO3、Mg2SiO4纳米级微波介质陶瓷粉体，大大降低合成温度。本发明制得的纳米粉体烧结成瓷后具有优良的微波介电性能，可用于制备0402、0201多层微波陶瓷电容器等小型片式多层微波器件，具有极大的工业应用价值。