发明授权
CN1298595C 晶片封闭件密封结构、密封部件以及晶片密封件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 晶片封闭件密封结构、密封部件以及晶片密封件
- 专利标题(英): Wafer enclosure sealing structure, sealing component and wafer enclosure
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申请号: CN02827133.5申请日: 2002-11-13
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公开(公告)号: CN1298595C公开(公告)日: 2007-02-07
- 发明人: S·D·埃贡
- 申请人: 诚实公司
- 申请人地址: 美国明尼苏达州
- 专利权人: 诚实公司
- 当前专利权人: 诚实公司
- 当前专利权人地址: 美国明尼苏达州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 崔幼平
- 优先权: 60/332,972 2001.11.14 US
- 国际申请: PCT/US2002/036638 2002.11.13
- 国际公布: WO2003/042059 EN 2003.05.22
- 进入国家日期: 2004-07-14
- 主分类号: B65D53/00
- IPC分类号: B65D53/00 ; B65D41/14 ; B65D45/00 ; B65D43/04 ; B65D85/00 ; B65D85/48 ; F16J15/14 ; F16L21/025 ; F16L17/03 ; F16L17/025 ; F16L15/02
摘要:
一种晶片容器,它包括一个带有门框的壳体,该壳体限定了一个用于插入和取出晶片的开口,以及一个用于插入门框中的门。门包括一个晶片封闭件密封结构,用于用壳体的门框气密地密封门。该晶片封闭件密封结构包括一个环绕门的内表面的周边设置的第一沟槽;和一第二沟槽,该第二沟槽与第一沟槽相邻设置,并与门的周边横向间隔开。密封结构包括一个设置于第一和第二沟槽之间的支承部件。密封结构还包括一个弹性体密封部件,该弹性体密封部件具有一个适于摩擦插入第二沟槽中并在门周围延伸的第一部分,和一个当门和壳体接合在一起时向下悬臂到第二沟槽中的第二部分。
公开/授权文献
- CN1615248A 用于晶片容器的晶片封闭件密封结构 公开/授权日:2005-05-11