晶片封闭件密封结构、密封部件以及晶片密封件
摘要:
一种晶片容器,它包括一个带有门框的壳体,该壳体限定了一个用于插入和取出晶片的开口,以及一个用于插入门框中的门。门包括一个晶片封闭件密封结构,用于用壳体的门框气密地密封门。该晶片封闭件密封结构包括一个环绕门的内表面的周边设置的第一沟槽;和一第二沟槽,该第二沟槽与第一沟槽相邻设置,并与门的周边横向间隔开。密封结构包括一个设置于第一和第二沟槽之间的支承部件。密封结构还包括一个弹性体密封部件,该弹性体密封部件具有一个适于摩擦插入第二沟槽中并在门周围延伸的第一部分,和一个当门和壳体接合在一起时向下悬臂到第二沟槽中的第二部分。
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