发明公开
CN1209034A 减小半导体材料尺寸的装置和方法
无效 - 撤回
- 专利标题： 减小半导体材料尺寸的装置和方法
- 专利标题（英）： Device and method for reducing size of semiconductor material
-
申请号： CN98102651.6申请日： 1998-06-24
-
公开(公告)号： CN1209034A公开(公告)日： 1999-02-24
- 发明人: 弗朗茨·克普尔 , 保罗·富克斯
- 申请人： 瓦克化学有限公司
- 申请人地址： 联邦德国慕尼黑
- 专利权人： 瓦克化学有限公司
- 当前专利权人： 瓦克化学有限公司
- 当前专利权人地址： 联邦德国慕尼黑
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 甘玲
- 优先权： 197274412 1997.06.27 DE
- 主分类号： H05B3/00
- IPC分类号： H05B3/00 ; H05B3/10
摘要：
描述了一种用来减小半导体材料尺寸的新型装置,该装置至少有两个相间隔电极,电极是由将要被减小尺寸的半导体材料构成的,并且,每一个电极装有一个加热装置。
