一种内藏离子泵式扫描装置，属于辐射加工技术领域。它包括加速器、扫描电磁铁及扫描盒。其结构特点是，扫描盒为矩形结构，立式或卧式放置。扫描盒内上端设置装有离子泵的阳极小筒的固定盒及与固定盒衔接的阴极钛板。扫描盒的外壁上、与固定盒的对应位置前后设有离子泵的磁铁，各磁铁用环绕扫描盒一周的磁轭固定。在扫描盒内、离子泵与电子束流边界之间设有与扫描盒内侧壁连接的磁场屏蔽板。本发明同现有技术相比，不仅优化了真空系统结构、减少了真空流阻损失，可使离子泵抽速发挥最大的工作效率，同时利于扫描装置的自屏蔽化和小型化。