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一种循环冷却式罗茨真空泵
Abstract:
本申请涉及一种循环冷却式罗茨真空泵,包括带有泵腔的泵体,泵体上分别开设有进气口和出气口,泵腔内转动连接有两个转子,其特征在于:还包括气液分离组件,两个转子上分别开设有冷却通道,泵体上设有储水腔和分离腔,储水腔分别连通分离腔和两个冷却通道,且储水腔与泵腔相邻,分离腔分别连通进气口和泵腔,气液分离组件设置在分离腔内,气液分离组件用于对进入分离腔的混合气体进行气液分离,并将液体送入储水腔气体送入泵腔。储水腔内的液体对相邻的泵腔进行冷却,减小泵腔出现的高温的可能性;并通过在转子上开设冷却通道,使出水腔内的液体流入冷却通道,对转子进行冷却,减小罗茨真空泵运行过程中发热出现咬死、抱死现象的可能性。
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