Invention Publication
- Patent Title: 直线电机驱动的减振键合平台
-
Application No.: CN202411119684.7Application Date: 2024-08-15
-
Publication No.: CN119362840APublication Date: 2025-01-24
- Inventor: 辻正人 , 藤野昇 , 吴华 , 成益卿 , 王晓霞
- Applicant: 鑫益邦半导体(江苏)有限公司
- Applicant Address: 江苏省南通市崇川区唐闸镇街道市北高新路259号
- Assignee: 鑫益邦半导体(江苏)有限公司
- Current Assignee: 鑫益邦半导体(江苏)有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省南通市崇川区唐闸镇街道市北高新路259号
- Main IPC: H02K41/02
- IPC: H02K41/02 ; H02K1/06
Abstract:
本发明公开了一种直线电机驱动的减振键合平台，具有浮动式直线电机驱动的键合装置，动子的感应驱动轴从靠近动子的一端穿插在定子的直线磁场间隙中，键合装置固定连接在动子上，并能跟随动子往复运动。感应驱动轴的长度略短于直线磁场的长度；在远离动子的另一端的直线磁场中，插入有一根固定不动的非磁性材料的金属导通板。本发明消除或减小了惯性振动幅度，设备的运行精度可以实现稳定化。
Information query
