本发明公开了一种高稳定氧化亚硅锂离子电池负极材料及其制备方法包括如下步骤：将改性氧化亚硅微粉和九水合硝酸铬水热反应得到MOF/氧化亚硅复合粉末，再与碳纳米管混合得到待碳化粉末，然后在管式炉中将待碳化粉末碳化后用氟气氟化，得到高稳定氧化亚硅锂离子电池负极材料；本发明的制备方法通过在氧化亚硅粉末表面原位生成Cr‑MOF包覆，减小了氧化亚硅粉末的团聚，通过将碳纳米管均匀附着在Cr‑MOF上后加热碳化，使碳纳米管被高温形成的碳化层固化，与碳层和氧化亚硅结合度高，与氟气氟化形成的氟化碳协同作用，提高了氧化亚硅锂电池负极材料的稳定性，减小了氧化亚硅的膨胀率，提高了锂离子电池的循环稳定性。