本发明公开了一种基于螺旋波等离子体的强流离子源装置，该装置主要包括头部螺旋波离子源、磁约束部分和扩散部分及其配套的供气系统、抽真空系统、射频系统和冷却系统。首先供气系统向等离子源腔室内通入反应气体，然后反应气体通过天线进行激励，从而产生螺旋波等离子体，在磁场约束的情况下首先被引出电极与PG电极之间的电势差以束流的形式被引出到扩散腔室，然后又被引出电极与法拉第筒之间的电场加速，在法拉第筒中被弧形磁铁用于二次电子抑制，防止二次电子反向加速进入等离子源腔室。本发明具有能耗低、等离子体密度高、自主冷却、磁场方便调节、多电极引出、引出束流强度高等优点。