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集成电路装置
Abstract:
提供了一种集成电路装置。所述集成电路装置包括:基底,包括彼此相对的第一表面和第二表面;鳍型有源区域,在第一方向上从基底的第一表面延伸;沟道结构,在鳍型有源区域的上表面上,并且包括沟道区域;源极/漏极区域,在鳍型有源区域的上表面上;栅极线,在基底上沿着垂直于第一方向的第二方向延伸,设置在基底上,并且围绕沟道结构;以及隔离结构,竖直穿过基底和鳍型有源区域,并且位于源极/漏极区域的一侧,其中,沟道结构、源极/漏极区域和隔离结构在第一方向上顺序地布置。
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