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部件表面检查和照明系统
Abstract:
提供一种检查系统。该检查系统包括光源和表面轮廓补偿器。光源照亮部件的轮廓表面。表面轮廓补偿器使得从光源发射的光根据目标光分布分布在轮廓表面的检查区域上。
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