本发明涉及石英摆片加工领域，为解决现有石英摆片清洗方法无法保证石英摆片的质量稳定性等问题，而提出一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，包括以下步骤：先对刻蚀后的石英摆片进行去胶处理；再加热超声波清洗剂槽和热水槽；将石英摆片先放入超声波清洗剂槽内进行超声波清洗，再放入热水槽中进行清洗，然后依次放入多道去离子水中进行清洗；将清洗后的石英摆片放入慢拉烘烤设备中进行烘干处理；将烘干处理后的石英摆片放入真空干燥箱中进行第一次时效处理；将通过第一次时效处理后的石英摆片放入真空蒸镀机中进行真空蒸镀处理；然后将石英摆片再次放入真空干燥箱中进行第二次时效处理，从而完成对石英摆片的清洗。