一种高精度宽光谱的波长测量装置和方法
Abstract:
本发明公开了一种高精度宽光谱的波长测量装置和方法,属于波长测量技术领域,波长测量装置包括线性滤波器、斐索干涉腔、光电探测器、分光装置和线列探测器。分光装置用于将待测激光分束以得到多个光束;线性滤波器用于粗测激光波长,并由光电探测器得到激光波长的大概范围值;斐索干涉腔基于线性滤波器所测值测得更精确的激光波长值,并由线列探测器得出具体值。波长测量方法运用线性滤波器和斐索干涉腔相结合的测量方式,以线性滤波器测得的波长值作为斐索干涉腔的测量基础,计算更高的级次的波长值,取两个级次处波长的平均值,减小了误差,并且不仅提高了测量速度,还增大了测量光谱范围,提高了测量精度。
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