一种兼具超灵敏与宽检测范围的仿生柔性压力传感器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种兼具超灵敏与宽检测范围的仿生柔性压力传感器及其制备方法,涉及柔性传感器技术领域,其中,兼具超灵敏与宽检测范围的仿生柔性压力传感器自上而下包括:第一凸起层与第二凸起层,包括无规则的仿栉器凸起结构;第一弧面层与第二弧面层,包括仿栉器梯度弧面结构,即椭圆形弧面结构及半圆形弧面结构;相较于现有的柔性压力传感器,本发明所提供的兼具超灵敏与宽检测范围的仿生柔性压力传感器兼具超灵敏与宽检测范围,同时检测限低、响应/恢复时间快,满足工业机器人、医疗健康和可穿戴设备领域对兼具超灵敏与宽检测范围高性能压力传感器的需求。
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