发明公开
- 专利标题: 一种新型图案化微纳米铜电路的制备方法
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申请号: CN202310353098.8申请日: 2023-04-04
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公开(公告)号: CN118785619A公开(公告)日: 2024-10-15
- 发明人: 张英超 , 徐少智 , 韩汝奇 , 李明阳 , 李玮城
- 申请人: 山东同益光刻胶材料科技有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市坊子区凤凰街道北斗科创园
- 专利权人: 山东同益光刻胶材料科技有限公司
- 当前专利权人: 山东同益光刻胶材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市坊子区凤凰街道北斗科创园
- 代理机构: 潍坊领潮知识产权代理有限公司
- 代理商 吴建龙
- 主分类号: H05K3/18
- IPC分类号: H05K3/18 ; H05K3/06 ; H05K1/03
摘要:
本发明适用于电路制备技术领域,提供了一种新型图案化微纳米铜电路的制备方法,包括如下步骤:对基底材料进行磁控溅射处理;在磁控溅射表面均匀旋涂光刻胶,并光刻形成光刻胶掩膜和光刻空间;在光刻空间部分进行电镀铜,形成镀铜层,得到化学镀电路版图;去除化学镀电路版图的光刻胶掩膜;微刻蚀除去被光刻胶覆盖的磁控溅射金属层,获得带有金属电路精细微图案化的高分子材料。借此,本发明能够得到边缘整齐光滑且精度非常高、且高深宽比优异的铜金属电路,同时,本发明产生的铜离子废水量少,极大程度上降低对环境的污染程度。