本申请公开了一种MEMS传感器和电子雾化装置，MEMS传感器包括衬底、钝化层、基板、第一施力元件、第二施力元件和导电触点；衬底的第一表面具有凹槽，其第二表面具有惠斯通电桥电路；钝化层覆盖衬底的第二表面；基板盖凹槽，以与衬底之间形成密封腔体；至少部分第一施力元件设置于钝化层远离衬底的一侧；至少部分第二施力元件设置于凹槽的底壁上；导电触点设置于衬底和/或基板上；其中，第一施力元件和第二施力元件均被配置为在通电情况下能够向凹槽的底壁施加靠近或远离基板的作用力。通过这样的方式，可使得衬底始终处于平整的初始状态，故很好地改善了衬底的形变不会与压力呈理想线性变化的问题，提高了MEMS传感器的检测精度。