本申请公开了一种MEMS传感器和电子雾化装置，MEMS传感器包括衬底、基板、测温元件和导电触点；衬底具有相对的第一表面和第二表面；第一表面具有凹槽，第二表面具有惠斯通电桥电路，惠斯通电桥电路的桥臂包括压敏电阻；基板覆盖凹槽形成密封腔体；测温元件设置于密封腔体的内表面上；导电触点设置于衬底和/或基板上，且与测温元件电连接；其中，测温元件具有电阻温度系数。通过这样的方式，能够大幅消除上述的温度漂移现象，从而提高了实施例MEMS传感器的检测精度。