一种高纯氧化镓多晶体的制备方法及装置
摘要:
本发明公开了一种高纯氧化镓多晶体的制备方法及装置,包括高温炉,以及固定在高温炉顶端的顶罩,且顶罩顶端设置有外延的边沿板,所述顶罩的顶端连接有封堵罩。该高纯氧化镓多晶体的制备方法及装置,利用旋转电机带动连接轴旋转,并使小齿轮同步旋转,利用小齿轮和大齿盘的相互啮合作用,即可使大齿盘同步做旋转运动,继而使多组转动轴在高温炉的内部转动,做圆周转动,此过程中利用伺服电机带动主动轴旋转,配合联动带即可使联动轴、从动轴同步旋转,以实现多轴同步联动转动,继而可以进一步实现多组转动轴的自转,利用转盘和多组搅动杆同步转动,继而可以对高温炉中的热量进行打散、搅动,促进热量均匀分布。
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