本申请涉及一种高纯钼的制备装置及方法，属于难熔金属制备特种技术领域。将原料进入反应装置之前将六氟化钼和氢气在混合装置混合，充分混合后的物料再进入反应装置，再利用一种高纯钼制品的制备进行反应，多余的尾气则进入循环处理装置中，循环处理装置中的物料继续进入反应装置循环反应，得到纯度在99.9999％及以上的高纯钼制品。本申请的设备简单，便于操作，本申请通过设置回收器，可以将反应产生的尾气重新利用，再次生成高纯钼，可以提升原料的转化率，避免原料浪费，本申请的制备方法反应流程短，产品厚度自由可控，产品纯度高，可大幅度提高终端产品的良率。