兰姆波谐振器及其制备方法、滤波器、通信设备。兰姆波谐振器包括：牺牲层设置于衬底上；压电层设置于牺牲层上，牺牲层具有空腔；叉指电极设置于压电层上，叉指电极在堆叠方向上的投影形成的器件区域落在空腔内；释放孔贯穿压电层，并与空腔连通；阻挡墙嵌入压电层和牺牲层，阻挡墙围设器件区域。叉指电极提供的电信号在压电层压电效应的作用下可以激发出声波。空腔可以将声波限制压电层一侧传播，进而保证有较多的声波可以用于电信号的选频。牺牲层的远离衬底的一端独立形成用于支撑压电层的支撑面，支撑面的平整度较好，因此，压电层与牺牲层的结合强度较好，因此，本申请公开的兰姆波谐振器具有较好的结构稳定性。