发明公开

一种研磨装置
摘要:
本发明提供一种研磨装置,包括研磨介质盘,研磨介质盘上设置有研磨材料;运动平台,其承载研磨介质盘,带动研磨介质盘沿着某一轨迹运动;驱动机构,为运动平台提供驱动动力;底座,用于支撑运动平台;研磨盘,研磨盘用于保持工件与研磨介质盘上的研磨材料抵接;所述轨迹是由x轴的简谐运动与y轴的简谐运动叠加而成。本发明提供的研磨装置,仅执行运动平台的简谐运动,可实现对工件的对称研磨,使得对工件的研磨效果更加中心对称;另外,其研磨动作所形成的运动轨迹对砂纸的遍历程度高,不需要另外增加其他直线运动的驱动装置,就可以实现砂纸的充分利用。
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