发明公开
CN118679129A 玻璃板的制造方法
审中-公开
- 专利标题： 玻璃板的制造方法
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申请号： CN202380021201.7申请日： 2023-01-30
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公开(公告)号： CN118679129A公开(公告)日： 2024-09-20
- 发明人: 田中宏明
- 申请人： 日本电气硝子株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 日本电气硝子株式会社
- 当前专利权人： 日本电气硝子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 刘文海
- 优先权： 2022-023809 20220218 JP
- 国际申请： PCT/JP2023/002853 2023.01.30
- 国际公布： WO2023/157625 JA 2023.08.24
- 进入国家日期： 2024-08-09
- 主分类号： C03C15/00
- IPC分类号： C03C15/00 ; B23K26/53 ; C03C23/00 ; H01L21/306
摘要：
一种玻璃板的制造方法，包括在通过激光的照射而对贯通孔的形成预定部进行改性之后在形成预定部形成贯通孔的贯通孔形成工序(S2)。贯通孔形成工序(S2)包括：蚀刻工序(S2a)，利用蚀刻液对玻璃板进行蚀刻；以及析出物去除工序(S2b)，在从蚀刻液取出玻璃板的状态下将在蚀刻工序(S2a)中在形成预定部析出的析出物去除。由此，能够使玻璃基板的贯通孔的孔径的均匀性提高。
