本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体公开一种硅片绒面结构、具有该绒面结构的硅片及制备方法和应用。所述硅片绒面结构包括倒置金字塔和阵列分布于所述倒置金字塔两侧壁的刺状纳米锥。本发明通过以不同粒径的磁性纳米球状SiO2@MOx颗粒为模板，结合光刻蚀和磁力吸附法等方法来制备绒面模板，并通过两步制绒法，在硅片表面形成陷光效果优异的具有类链式倒置锥刺状金字塔结构，有效解决了传统制绒方法存在的金属残留，金字塔结构均匀性差，以及相邻倒金字塔重叠等问题，且制备方法操作简单，绒面结构的成形容易控制，工艺适应性高，对于提升晶硅太阳能电池的光电转化效率具有非常重要的意义。