Invention Publication
- Patent Title: 一种无掩膜磁通门传感器芯片集成制造方法
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Application No.: CN202411118324.5Application Date: 2024-08-15
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Publication No.: CN118642011APublication Date: 2024-09-13
- Inventor: 雷冲 , 戴毓含 , 陈磊 , 徐建涛
- Applicant: 浙江朗德电子科技有限公司 , 上海交通大学
- Applicant Address: 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道福善线钟南段330号文成产业园1号楼101室、201室、401室;
- Assignee: 浙江朗德电子科技有限公司,上海交通大学
- Current Assignee: 浙江朗德电子科技有限公司,上海交通大学
- Current Assignee Address: 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道福善线钟南段330号文成产业园1号楼101室、201室、401室;
- Agency: 北京维正专利代理有限公司
- Agent 吴英杰
- Main IPC: G01R33/00
- IPC: G01R33/00 ; B81C1/00 ; G01R33/04

Abstract:
本申请涉及MEMS集成微制造的技术领域,尤其是涉及一种无掩膜磁通门传感器芯片集成制造方法,包括以下步骤:获取待处理衬底,并在待处理面获取底层凹槽阵列以及底层导电铜膜,以形成底层线圈;在底层线圈的两端留出导电通孔;采用3D打印以获取磁芯放置凹槽,并继续保留导电通孔;采用电化学沉积增材3D打印纯铜填满导电通孔以形成铜连接导体;采用3D打印形成顶层线圈的顶层凹槽阵列图形和顶层电极凹槽图形;采用电化学沉积增材3D打印纯铜以获取顶层铜膜,顶层铜膜填满顶层凹槽阵列,同时填满顶层电极凹槽形成铜电极,形成完整的无掩膜磁通门传感器芯片。本申请简化了制造工艺流程,缩短了制造周期,降低了芯片成本。
Public/Granted literature
- CN118642011B 一种无掩膜磁通门传感器芯片集成制造方法 Public/Granted day:2024-11-05
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