发明授权
- 专利标题： 具有特定织构的纯钛溅射靶材及其制备方法
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申请号： CN202411111421.1申请日： 2024-08-14
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公开(公告)号： CN118621280B公开(公告)日： 2024-11-12
- 发明人: 赵娜娜 , 邓海宁 , 张泽豪 , 陈思霖 , 钟黎声 , 邹军涛 , 许云华
- 申请人： 西安理工大学
- 申请人地址： 陕西省西安市碑林区金花南路5号
- 专利权人： 西安理工大学
- 当前专利权人： 西安理工大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市碑林区金花南路5号
- 代理机构： 西安弘理专利事务所
- 代理商 王奇
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; B21B3/00 ; B21B37/58
摘要：
本发明公开了具有特定织构的纯钛溅射靶材，该靶材的最紧密堆积面平面织构化，并且减少了粗糙平面的占比，最紧密堆积面与粗糙平面的比值在19以上。本发明还公开了上述靶材的制备方法，采用特定的轧制工艺，各道次的单道次加工率相互配合，相互协同，达到了最优的效果。本发明方法可以获得细小且均匀的晶粒，这样可以降低颗粒的产生，提高溅射镀膜的均匀性。
公开/授权文献
- CN118621280A 具有特定织构的纯钛溅射靶材及其制备方法 公开/授权日：2024-09-10
IPC分类:
