一种驱导测一体化高精度微动装置属于高精度机电技术领域；本发明装置包括导轨机构、驱动机构、导向机构和测量机构，直线导轨的一端加工有“H”型槽，驱动机构安装在“H”型槽内做直线运动，直线导轨的另一端是导向机构的运动基准。该装置采用菱形振子实现高精度驱动、采用气浮导轨实现高精度导向、采用光栅尺实现高精度位置反馈，集成了驱动、导向、测量功能共同实现高精度直线运动。与传统技术不同的是，该装置采用的驱动、导向、测量机构分属不同的模块，可独立拆卸和升级，同时结构紧凑、具有同一个安装基准。因此，本发明装置在原理上消除了阿贝误差，具有高运动精度和定位精度的优点。