一种低温泵再生方法
摘要:
本发明提供一种低温泵再生方法,在再生过程中对通入氮气的时机进行了优化,通过在初始阶段和一级冷头与二级冷头温度升高到270K时通入氮气,提高了氮气的利用率;同时改善了相关流程,通过改变升温时机、进行二次吹扫和二次抽吸,有效缩短了再生需要的时间,同时降低低温泵再生过程中消耗的氮气,并且不会牺牲再生效果。
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