一种多晶硅提纯用漏硅防护安全装置
摘要:
本发明公开了一种多晶硅提纯用漏硅防护安全装置,包括炉体,所述炉体上设有炉门、抽真空管和加料管,所述炉体内还连接设有加热坩埚和拉制结构;所述加热坩埚的底端沿其周长方向均匀设有多组监控模组一,炉体内沿其周长方向连接设有多组监控模组二,炉体还与监控模组一、监控模组二电性连接有声光报警器。本发明与现有技术相比的优点在于:提供一种可以有效对炉体内漏硅监控,可以有效的保护人员和财产安全的一种多晶硅提纯用漏硅防护安全装置。
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