发明授权
- 专利标题: 一种碳化硅晶锭上下料轨道系统
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申请号: CN202411040157.7申请日: 2024-07-31
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公开(公告)号: CN118560906B公开(公告)日: 2024-10-18
- 发明人: 刘东立 , 朱伟杰
- 申请人: 西湖仪器(杭州)技术有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块2号1幢6层601室
- 专利权人: 西湖仪器(杭州)技术有限公司
- 当前专利权人: 西湖仪器(杭州)技术有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块2号1幢6层601室
- 代理机构: 杭州汇和信专利代理有限公司
- 代理商 周竑
- 主分类号: B65G1/12
- IPC分类号: B65G1/12 ; B65G1/06
摘要:
本发明提供一种碳化硅晶锭上下料轨道系统,包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置,所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板以及若干第二储料板,所述第一储料板与第二储料板结构相同,且若干第一储料板可同步升降,若干第二储料板可同步升降;所述运输装置包括可升降设置的料架、设于料架上料端的检测组件,所述料架的出料端与若干第一储料板、若干第二储料板均呈对应设置,以使检测组件对晶锭的高度进行检测后,料架将晶锭运输至对应的第一储料板或第二储料板处;本发明提高碳化硅晶锭上下料的便捷。
公开/授权文献
- CN118560906A 一种碳化硅晶锭上下料轨道系统 公开/授权日:2024-08-30
IPC分类: