一种碳化硅晶锭上下料轨道系统
摘要:
本发明提供一种碳化硅晶锭上下料轨道系统,包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置,所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板以及若干第二储料板,所述第一储料板与第二储料板结构相同,且若干第一储料板可同步升降,若干第二储料板可同步升降;所述运输装置包括可升降设置的料架、设于料架上料端的检测组件,所述料架的出料端与若干第一储料板、若干第二储料板均呈对应设置,以使检测组件对晶锭的高度进行检测后,料架将晶锭运输至对应的第一储料板或第二储料板处;本发明提高碳化硅晶锭上下料的便捷。
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