一种无线柔性温湿压集成传感器及其制备方法、传感系统
摘要:
本发明公开了一种无线柔性温湿压集成传感器及其制备方法、传感系统,传感系统其主要由无线柔性温度传感器、无线柔性湿度传感器、无线柔性压力传感器以及无线低功耗唤醒电路构成,通过集成三种不同谐振频率的LC传感器,实现对温度、湿度和压力的无线测量。其中,温度传感器采用聚乙二醇作为温度敏感材料,湿度传感器采用氧化石墨烯作为湿度敏感材料,压力传感器把平行板电容作为压力敏感元件,从而温湿压的改变引起对应LC传感器的电容值改变。该无线柔性温湿压集成传感器为无源器件,具有柔性可穿戴和高灵敏度等特点;该低功耗唤醒电路实现对检测系统的休眠‑唤醒功能,降低该传感器系统的平均功耗,具有无线唤醒和响应速度快等特点。
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