抽真空系统的控制方法、装置、电子设备及存储介质
Abstract:
本发明公开了一种抽真空系统的控制方法、装置、电子设备及存储介质,涉及真空技术领域,控制膜片泵以支持的最大转速运行,当膜片泵运行一段时间后,获取目标空间的真空值,并根据目标空间的真空值的具体情况确定膜片泵是否可以开始降速,若可以,则控制膜片泵的转速下降,若不可以,则继续控制膜片泵以最大转速运行;膜片泵先以最大速度运行,实现高速抽真空的过程,确保整个抽真空过程的工作效率以及对目标空间的抽真空效果,在目标空间的真空值达到目标值之后再对膜片泵进行降速操作,从而在保证对目标空间的抽真空效果的基础上,对膜片泵进行可控的降速控制,从而延长了膜片泵的使用寿命,减少电能消耗,提高整个抽真空系统的寿命,节约成本。
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