Invention Publication
- Patent Title: 抽真空系统的控制方法、装置、电子设备及存储介质
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Application No.: CN202410615080.5Application Date: 2024-05-17
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Publication No.: CN118442296APublication Date: 2024-08-06
- Inventor: 蔡克亚 , 赵莹 , 尚元贺 , 杨茂 , 孙金金 , 李向广
- Applicant: 安图实验仪器(郑州)有限公司
- Applicant Address: 河南省郑州市经济技术开发区经开第十五大街199号
- Assignee: 安图实验仪器(郑州)有限公司
- Current Assignee: 安图实验仪器(郑州)有限公司
- Current Assignee Address: 河南省郑州市经济技术开发区经开第十五大街199号
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 王浩
- Main IPC: F04B49/20
- IPC: F04B49/20 ; F04B45/047 ; F04B37/14 ; F04B41/06 ; F04B49/02 ; F04B49/06

Abstract:
本发明公开了一种抽真空系统的控制方法、装置、电子设备及存储介质,涉及真空技术领域,控制膜片泵以支持的最大转速运行,当膜片泵运行一段时间后,获取目标空间的真空值,并根据目标空间的真空值的具体情况确定膜片泵是否可以开始降速,若可以,则控制膜片泵的转速下降,若不可以,则继续控制膜片泵以最大转速运行;膜片泵先以最大速度运行,实现高速抽真空的过程,确保整个抽真空过程的工作效率以及对目标空间的抽真空效果,在目标空间的真空值达到目标值之后再对膜片泵进行降速操作,从而在保证对目标空间的抽真空效果的基础上,对膜片泵进行可控的降速控制,从而延长了膜片泵的使用寿命,减少电能消耗,提高整个抽真空系统的寿命,节约成本。
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