本发明提供了一种C5F10O‑有机硅凝胶界面的耐压测试方法和装置，方法包括在测试空间内模拟缺陷环境；清洁待测试的有机硅凝胶样品，将有机硅凝胶样品放入测试空间；向测试空间内充入具有第一气压的C5F10O和氮气的混合气体；采用逐步升压法对电极施加所需第一试验电压，连续均匀的升高所述第一试验电压，直至样品被击穿，读取电压值；对其他待测试的有机硅凝胶样品进行耐压测试；根据多个样品的击穿电压结果，获取C5F10O‑有机硅凝胶界面的击穿特性曲线。装置用于组建实施上述方法的交流击穿测试平台和直流击穿测试平台。本发明能够能对有机硅凝胶界面的击穿性能进行测试，进而获得不同电场缺陷下有机硅凝胶材料界面的绝缘击穿性能，测试结果准确，测试流程简便。