一种差分电容式力传感器结构
摘要:
本发明公开了一种差分电容式力传感器结构,涉及力传感器技术领域,包括感知主体和绝缘的基座,感知主体安装于基座内,感知主体用于探测外界作用的力矩,基座用于包封感知主体以抗干扰;感知主体中,第二电极和封堵条设置于第一电极和第三电极之间,并分别位于第一电极或第二电极的两端;三个电极围成的空间内设置有两极板组,两极板组中设置有与第一电极、或力探头、或第三电极连接的电极板;单个极板组中的多个电极板交替排列布置,电极板之间均留有间隙;力探头以可移动的方式置于两极板组之间;通过交替布置的电极板,力探头接受外力时带动多个电容输出差分信号,有助于消除共模干扰,提高灵敏度和测量精度,解决现有力传感器分辨率低的问题。
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