本发明公开一种生产颗粒多晶硅的方法及装置，属于多晶硅制备生产领域，流化床法生产粒状多晶硅过程中由于颗粒硅与内壁碰撞，而产生了少量硅粉，或者在器壁沉积导致颗粒硅收集率降低，本发明通过在流化床反应器内部注入预热的氢气及硅烷气体；同时通过旋风分离器对流化床反应器内的物质进行分离，并分离出硅粉；分离后的硅粉预热至一定温度后注入流化床反应器中；反应器内的硅烷气体在以硅粉作为晶核的表面生长，随着悬浮的籽晶颗粒不断外延生长，长到足够重量的硅颗粒后，沉降到流化床反应器的底部并收集，通过本发明有效的提升了颗粒硅的收集率。