本发明属于加速器束流诊断领域，涉及一种异形极板的紧凑束流位置探针装置及使用方法，包括：束流真空管、若干极板和真空馈通；所述极板均匀设置在所述束流真空管的内壁侧，且所述极板两两对称设置，其中，至少有一对极板包括一主极板和两个向外延伸的副极板，所述副极板设置在所述主机板两侧；每个所述极板与一真空馈通的内芯连接，所述真空馈通的外层地与束流真空管相连。其拥有足够高的灵敏度及足够大的线性测量区间，可以准确测得束流位置，从而进行有效的加速器调束及运行。