发明公开
- 专利标题: 一种新型离子减薄样品制备装置及制样方法
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申请号: CN202410595562.9申请日: 2024-05-14
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公开(公告)号: CN118347823A公开(公告)日: 2024-07-16
- 发明人: 王毅 , 刘博文 , 李世琪 , 胡政
- 申请人: 南京航空航天大学
- 申请人地址: 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 专利权人: 南京航空航天大学
- 当前专利权人: 南京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 代理机构: 石家庄众志华清知识产权事务所
- 代理商 王苑祥
- 主分类号: G01N1/36
- IPC分类号: G01N1/36 ; G01N1/28 ; G01N23/04
摘要:
本发明提供一种新型离子减薄样品制备装置及制样方法,涉及离子减薄样品制备领域。该新型离子减薄样品制备装置,包括:样品固定外圆环、样品承载模具,所述固定外圆环的内部形成通孔,所述样品承载模具的上表面设置有凹槽,所述凹槽的两侧形成侧向片。通过快速制备出符合要求的脆性样品,相比传统方法,提高了制备效率,通过黏结液固化和多次抛光的步骤,有效保护了样品在制备过程中的完整性和质量,减少了可能出现的损伤或变形,离子减薄过程中采用了逐步降低的电压和角度参数,确保了样品表面的均匀加工,避免了过度刻蚀或不均匀薄化的情况,该装置和方法适用于各种脆性材料样品的制备。