一种新型离子减薄样品制备装置及制样方法
摘要:
本发明提供一种新型离子减薄样品制备装置及制样方法,涉及离子减薄样品制备领域。该新型离子减薄样品制备装置,包括:样品固定外圆环、样品承载模具,所述固定外圆环的内部形成通孔,所述样品承载模具的上表面设置有凹槽,所述凹槽的两侧形成侧向片。通过快速制备出符合要求的脆性样品,相比传统方法,提高了制备效率,通过黏结液固化和多次抛光的步骤,有效保护了样品在制备过程中的完整性和质量,减少了可能出现的损伤或变形,离子减薄过程中采用了逐步降低的电压和角度参数,确保了样品表面的均匀加工,避免了过度刻蚀或不均匀薄化的情况,该装置和方法适用于各种脆性材料样品的制备。
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