本发明提供了一种晶硅异质结太阳能电池结构、其制备方法及太阳能电池。所述晶硅异质结太阳能电池结构包括金属电极、N型重掺杂层、N型掺杂层、本征钝化层、N型单晶硅片、P型掺杂层和P型重掺杂层。相比现有技术，本发明利用磁控溅射工艺沉积宽带隙、高电导、高质量的多晶碳化硅材料，它既可以作为掺杂功能层实现载流子的抽取，又可以作为导电电极替代透明导电氧化物与大面积金属栅线的使用。本发明优化了晶硅异质结电池结构，简化了制备流程，有利于实现电池的降本增效和产业化应用。