一种电阻型纳米结构氢气传感器的制备方法
摘要:
本发明提供了一种电阻型纳米结构氢气传感器的制备方法,涉及传感器的制备技术领域。一种电阻型纳米结构氢气传感器的制备方法,包括以下步骤:S1、在衬底表面涂布聚酰亚胺形成聚酰亚胺薄膜;S2、采用纳米压印技术在聚酰亚胺薄膜表面诱导出阵列式纳米凹槽结构;S3、利用磁控溅射设备在具有纳米凸起的聚酰亚胺薄膜表面溅射Pd纳米薄膜;S4、在镀好Pd纳米薄膜的衬底样品的两端制备金属电极,得到电阻型纳米结构氢气传感器。其能够提升单位面积钯薄膜的比表面积,提高传感器的响应时间和探测范围,使得氢气传感器具有较好的灵敏度。
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