本发明提供一种相位补偿型硅基星形90度光混频器，硅波导层配置包括信号光输入波导、本振光输入波导、Y分支和3个2×2多模干涉耦合器(MMI)组成的星形结以及四个输出波导；本振光输入波导与Y分支输入端口耦合，信号光输入波导与底部2×2多模干涉耦合器其中一个输入端口耦合，通过四路90度弯曲波导，将信号光和本振光输入至两侧2×2MMI多模干涉区，使得信号光和本振光在两侧的2×2MMI中混频，并分别引出至两侧的四个输出波导。本发明基于硅基波导及多模干涉耦合器，可通过热移相器补偿由四路90度弯曲波导产生的相位偏差，具有尺寸小、低相位偏差、可调谐等优点。